當(dāng)前,半導(dǎo)體器件、集成電路、光電器件等特殊零部件進(jìn)行四川激光焊接封裝作業(yè)時(shí),焊接材料暴露在空氣中,在高溫條件下特別容易氧化,造成器件出現(xiàn)氣孔、夾渣、裂紋、焊接強(qiáng)度低等焊接缺陷,導(dǎo)致器件氣密性差、強(qiáng)度低、不耐沖擊等不合格率飆升,特別是不耐沖擊缺陷將造成高馬赫飛行的器件發(fā)生損壞,造成重大的安全事故和財(cái)產(chǎn)損失,目前急需一種能夠在真空條件下或在特殊氣氛保護(hù)條件下的激光焊接封裝裝置,具備良好人機(jī)環(huán)境和柔性化的設(shè)備,滿足高端器件特別是航空航天高速飛行器專用器件的需求。
針對(duì)原有技術(shù)中的不足之處,米開(kāi)羅那提供一種基于氣氛保護(hù)條件下的激光焊接手套箱,針對(duì)解決激光焊接中空氣中的濕度以及空氣中雜質(zhì)的影響,該手套箱有兩個(gè)90度方艙,左側(cè)為加熱艙,右側(cè)為過(guò)渡艙,加熱艙至高溫度200℃,加熱板可以同期快速冷卻,方艙門(mén)外側(cè)為手動(dòng)門(mén),內(nèi)門(mén)為自動(dòng)門(mén),內(nèi)外門(mén)互鎖,手套箱體通過(guò)流量計(jì)控制清洗,也可以連接凈化系統(tǒng)。
其特征在于:泄漏低、箱體內(nèi)水氧含量低、設(shè)備整體性能穩(wěn)定、水氧檢測(cè)真實(shí)可靠。